集成電路虛擬仿真實訓中心解決方案
虛擬仿真實訓中心從半導體產業發展對技能人才的需要出發,結合企業崗位實際能力要求,助力學校建設相應的課程體系和實訓體系,并按照“理論教學-仿真實訓-實際操作”打造“教學做創”一體化的實訓室,真正實現“學中做、做中學”互動情景教學,著力將實訓室打造成為技能教育的“第一課堂”,助力學生全面發展(知識+能力+素質)。
實訓教室由硬件設備、軟件系統及 課件資源(核心,可拓展)等組成,采?虛擬仿真、虛擬現實技術?段浸?情境開展創新教學和個?實操,具有零?險、低成本、沉浸式、可逆性、數據化等優勢。利用沉浸式交互和指導,通過實景仿真教學,幫助學生迅速上手,從而縮短培訓時間并降低錯誤風險。
虛擬仿真軟件包括晶圓制造工藝各個環節,如晶圓清洗與污染防護、氧化工藝、熱處理工藝、光刻工藝(典型的MA曝光機虛擬課件、 仿真課件)、刻蝕工藝、薄膜沉積工藝、金屬化工藝、摻雜工藝,以及典型器件工藝技術,如MEMS器件制備實訓、功率器件制備實訓、光電器件制備實訓等工藝教學課件。


















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